真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2008年
3期
194-198
,共5页
磁控溅射%稀土Y%AFM%XPS
磁控濺射%稀土Y%AFM%XPS
자공천사%희토Y%AFM%XPS
本文研究了Al靶中加入不同含量的稀土钇(Y)对CrAlTiN薄膜硬度的影响.并应用原子力显微镜(AFM)、能谱仪(EDS)、纳米压入仪、显微硬度计对薄膜样品进行分析.结果表明,CrAlTiN薄膜中稀土元素Y的加入使得Al元素单位时间内沉积量提高,CrAlTiN薄膜晶粒细化,薄膜的表面相由CrN、Cr2N向Cr逐渐变化.当Y＜0.84%时CrAlTiN薄膜的硬度随着稀土Y含量的升高而降低;当Y＞0.84%时CrAlTiN薄膜的硬度随着Y含量的升高而升高.
本文研究瞭Al靶中加入不同含量的稀土釔(Y)對CrAlTiN薄膜硬度的影響.併應用原子力顯微鏡(AFM)、能譜儀(EDS)、納米壓入儀、顯微硬度計對薄膜樣品進行分析.結果錶明,CrAlTiN薄膜中稀土元素Y的加入使得Al元素單位時間內沉積量提高,CrAlTiN薄膜晶粒細化,薄膜的錶麵相由CrN、Cr2N嚮Cr逐漸變化.噹Y＜0.84%時CrAlTiN薄膜的硬度隨著稀土Y含量的升高而降低;噹Y＞0.84%時CrAlTiN薄膜的硬度隨著Y含量的升高而升高.
본문연구료Al파중가입불동함량적희토을(Y)대CrAlTiN박막경도적영향.병응용원자력현미경(AFM)、능보의(EDS)、납미압입의、현미경도계대박막양품진행분석.결과표명,CrAlTiN박막중희토원소Y적가입사득Al원소단위시간내침적량제고,CrAlTiN박막정립세화,박막적표면상유CrN、Cr2N향Cr축점변화.당Y＜0.84%시CrAlTiN박막적경도수착희토Y함량적승고이강저;당Y＞0.84%시CrAlTiN박막적경도수착Y함량적승고이승고.
