功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2008年
3期
639-644
,共6页
陆振华%许宝建%金庆辉%赵建龙
陸振華%許寶建%金慶輝%趙建龍
륙진화%허보건%금경휘%조건룡
PDMS%塑性成型%SU-8模具%黏附性
PDMS%塑性成型%SU-8模具%黏附性
PDMS%소성성형%SU-8모구%점부성
PDMS是制作微流控芯片的主要材料.PDMS芯片制作的主要方法是模塑法,模塑法要求有良好的塑性成型模具.SU-8以其良好的微加工特性,目前已广泛应用于微机械结构的制作,也用于PDMS塑性成型的模具.本文根据模具的特殊性,如平整、无裂纹、可多次使用等要求,研究了影响SU-8模具结构与基底材料硅片的黏附性和形成裂纹的因素,优化了SU-8微模具加工工艺,在以0.5℃/min进行升降温、210 mJ/cm2的曝光剂量、200℃条件下硬烘30min条件下得到较好的SU-8模具,提供了一种快速、复用性高、低成本的PDMS微芯片塑性成型的SU-8模具的制作方法.
PDMS是製作微流控芯片的主要材料.PDMS芯片製作的主要方法是模塑法,模塑法要求有良好的塑性成型模具.SU-8以其良好的微加工特性,目前已廣汎應用于微機械結構的製作,也用于PDMS塑性成型的模具.本文根據模具的特殊性,如平整、無裂紋、可多次使用等要求,研究瞭影響SU-8模具結構與基底材料硅片的黏附性和形成裂紋的因素,優化瞭SU-8微模具加工工藝,在以0.5℃/min進行升降溫、210 mJ/cm2的曝光劑量、200℃條件下硬烘30min條件下得到較好的SU-8模具,提供瞭一種快速、複用性高、低成本的PDMS微芯片塑性成型的SU-8模具的製作方法.
PDMS시제작미류공심편적주요재료.PDMS심편제작적주요방법시모소법,모소법요구유량호적소성성형모구.SU-8이기량호적미가공특성,목전이엄범응용우미궤계결구적제작,야용우PDMS소성성형적모구.본문근거모구적특수성,여평정、무렬문、가다차사용등요구,연구료영향SU-8모구결구여기저재료규편적점부성화형성렬문적인소,우화료SU-8미모구가공공예,재이0.5℃/min진행승강온、210 mJ/cm2적폭광제량、200℃조건하경홍30min조건하득도교호적SU-8모구,제공료일충쾌속、복용성고、저성본적PDMS미심편소성성형적SU-8모구적제작방법.
