仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2008年
7期
1-2,5
,共3页
金膜%硫化氢%吸附%平面电阻
金膜%硫化氫%吸附%平麵電阻
금막%류화경%흡부%평면전조
纳米金膜具有气敏特性,吸附硫化氢气体后其平面电阻会发生改变,是制作气体传感器的潜在材料.试验采用离子溅射法在ABS、PC、PMMA 3种基材表面形成不同厚度的金膜,利用直流桥式测量线路,研究了金膜吸附不同体积分数的硫化氢混合气体后检测电流的变化规律.试验中发现,金膜对硫化氢气体的吸附与基材表面形貌有较大关系,光滑的表面使吸附电流变化与硫化氢体积分数有稳定的线性关系;适当增加金膜的厚度可以有效增大检流计的电流变化;测试线路直流电压增加可以提高测试分辨能力.
納米金膜具有氣敏特性,吸附硫化氫氣體後其平麵電阻會髮生改變,是製作氣體傳感器的潛在材料.試驗採用離子濺射法在ABS、PC、PMMA 3種基材錶麵形成不同厚度的金膜,利用直流橋式測量線路,研究瞭金膜吸附不同體積分數的硫化氫混閤氣體後檢測電流的變化規律.試驗中髮現,金膜對硫化氫氣體的吸附與基材錶麵形貌有較大關繫,光滑的錶麵使吸附電流變化與硫化氫體積分數有穩定的線性關繫;適噹增加金膜的厚度可以有效增大檢流計的電流變化;測試線路直流電壓增加可以提高測試分辨能力.
납미금막구유기민특성,흡부류화경기체후기평면전조회발생개변,시제작기체전감기적잠재재료.시험채용리자천사법재ABS、PC、PMMA 3충기재표면형성불동후도적금막,이용직류교식측량선로,연구료금막흡부불동체적분수적류화경혼합기체후검측전류적변화규률.시험중발현,금막대류화경기체적흡부여기재표면형모유교대관계,광활적표면사흡부전류변화여류화경체적분수유은정적선성관계;괄당증가금막적후도가이유효증대검류계적전류변화;측시선로직류전압증가가이제고측시분변능력.
