材料研究与应用
材料研究與應用
재료연구여응용
MATERIALS RESEARCH AND APPLICATION
2009年
1期
19-22
,共4页
贾福超%白亦真%庄春强%屈芳%邢娇杨%赵纪军%姜辛
賈福超%白亦真%莊春彊%屈芳%邢嬌楊%趙紀軍%薑辛
가복초%백역진%장춘강%굴방%형교양%조기군%강신
BCN薄膜%傅立叶变换红外光谱%射频磁控溅射
BCN薄膜%傅立葉變換紅外光譜%射頻磁控濺射
BCN박막%부립협변환홍외광보%사빈자공천사
采用射频磁控溅射方法,以石墨和六方氮化硼(h-BN)为复合靶,在氩气和氮气的氛围中,在室温和673 K的条件下,分别改变N2流量,沉积BCN薄膜.经傅立叶变换红外光谱(FTIR)分析表明,在1000～1800 cm-1和2200 cm-1处分别出现了C=N键和弱的C≡N键的特征吸收峰,表明沉积的薄膜组分当中,少量碳原子与氮原子结合.而分别溅射石墨和h-BN靶,红外光谱分析显示1100 cm-1处不是B-C键.说明采用射频磁控溅射方法得到的薄膜倾向于相分离.
採用射頻磁控濺射方法,以石墨和六方氮化硼(h-BN)為複閤靶,在氬氣和氮氣的氛圍中,在室溫和673 K的條件下,分彆改變N2流量,沉積BCN薄膜.經傅立葉變換紅外光譜(FTIR)分析錶明,在1000～1800 cm-1和2200 cm-1處分彆齣現瞭C=N鍵和弱的C≡N鍵的特徵吸收峰,錶明沉積的薄膜組分噹中,少量碳原子與氮原子結閤.而分彆濺射石墨和h-BN靶,紅外光譜分析顯示1100 cm-1處不是B-C鍵.說明採用射頻磁控濺射方法得到的薄膜傾嚮于相分離.
채용사빈자공천사방법,이석묵화륙방담화붕(h-BN)위복합파,재아기화담기적분위중,재실온화673 K적조건하,분별개변N2류량,침적BCN박막.경부립협변환홍외광보(FTIR)분석표명,재1000～1800 cm-1화2200 cm-1처분별출현료C=N건화약적C≡N건적특정흡수봉,표명침적적박막조분당중,소량탄원자여담원자결합.이분별천사석묵화h-BN파,홍외광보분석현시1100 cm-1처불시B-C건.설명채용사빈자공천사방법득도적박막경향우상분리.
