河北化工
河北化工
하북화공
HEBEI CHEMICAL ENGINEERING AND INDUSTRY
2010年
2期
27-29
,共3页
杨芙丽%崔一强%陈洪利%张雪梅%刘军%池利民
楊芙麗%崔一彊%陳洪利%張雪梅%劉軍%池利民
양부려%최일강%진홍리%장설매%류군%지이민
BaTiO3薄膜%溶胶-凝胶法%溶剂%选择%表面张力
BaTiO3薄膜%溶膠-凝膠法%溶劑%選擇%錶麵張力
BaTiO3박막%용효-응효법%용제%선택%표면장력
合成透明稳定的溶胶对于制备优异电性能的BaTiO3(BT)薄膜是尤为关键的一步.以无水乙醇、异丙醇、乙二醇和乙二醇甲醚4种溶剂做对比,从合成溶胶的稳定性、表面张力以及制备出的BaTiO3膜的SEM等几方面比较了4种溶剂的优缺点,最后以乙二醇甲醚合成的溶胶最清晰、稳定,用此溶胶在Si(100)基底上得到了均匀无开裂的钛酸钡薄膜.
閤成透明穩定的溶膠對于製備優異電性能的BaTiO3(BT)薄膜是尤為關鍵的一步.以無水乙醇、異丙醇、乙二醇和乙二醇甲醚4種溶劑做對比,從閤成溶膠的穩定性、錶麵張力以及製備齣的BaTiO3膜的SEM等幾方麵比較瞭4種溶劑的優缺點,最後以乙二醇甲醚閤成的溶膠最清晰、穩定,用此溶膠在Si(100)基底上得到瞭均勻無開裂的鈦痠鋇薄膜.
합성투명은정적용효대우제비우이전성능적BaTiO3(BT)박막시우위관건적일보.이무수을순、이병순、을이순화을이순갑미4충용제주대비,종합성용효적은정성、표면장력이급제비출적BaTiO3막적SEM등궤방면비교료4충용제적우결점,최후이을이순갑미합성적용효최청석、은정,용차용효재Si(100)기저상득도료균균무개렬적태산패박막.
