人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2010年
2期
524-528,544
,共6页
苏文佳%左然%Vladimir Kalaev
囌文佳%左然%Vladimir Kalaev
소문가%좌연%Vladimir Kalaev
单晶硅%数值模拟%热屏%炭毡
單晶硅%數值模擬%熱屏%炭氈
단정규%수치모의%열병%탄전
在CZ法生长太阳能级单晶硅中,单晶炉的导流筒、热屏和炭毡对晶体生长有很大影响.通过对上述三个部件进行改进优化,并通过数值模拟对优化前后晶体和熔体的热场、热屏外表面与石英坩埚内壁面之间的氩气流场以及晶体中的热应力进行分析,得出以下结论:石墨导流筒的引入减少了炉体上部的氩气流动涡胞,进而减少了SiO在单晶炉上部的沉积;优化后的热屏减少了加热器对晶体的烘烤,使结晶速率加快;优化后的侧壁炭毡阻止了加热器向上部的热损失.优化后在加热器功耗不变时,结晶速率至少可提高35%,而不增加宏观位错的发生概率.
在CZ法生長太暘能級單晶硅中,單晶爐的導流筒、熱屏和炭氈對晶體生長有很大影響.通過對上述三箇部件進行改進優化,併通過數值模擬對優化前後晶體和鎔體的熱場、熱屏外錶麵與石英坩堝內壁麵之間的氬氣流場以及晶體中的熱應力進行分析,得齣以下結論:石墨導流筒的引入減少瞭爐體上部的氬氣流動渦胞,進而減少瞭SiO在單晶爐上部的沉積;優化後的熱屏減少瞭加熱器對晶體的烘烤,使結晶速率加快;優化後的側壁炭氈阻止瞭加熱器嚮上部的熱損失.優化後在加熱器功耗不變時,結晶速率至少可提高35%,而不增加宏觀位錯的髮生概率.
재CZ법생장태양능급단정규중,단정로적도류통、열병화탄전대정체생장유흔대영향.통과대상술삼개부건진행개진우화,병통과수치모의대우화전후정체화용체적열장、열병외표면여석영감과내벽면지간적아기류장이급정체중적열응력진행분석,득출이하결론:석묵도류통적인입감소료로체상부적아기류동와포,진이감소료SiO재단정로상부적침적;우화후적열병감소료가열기대정체적홍고,사결정속솔가쾌;우화후적측벽탄전조지료가열기향상부적열손실.우화후재가열기공모불변시,결정속솔지소가제고35%,이불증가굉관위착적발생개솔.
