功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2010年
3期
271-275
,共5页
SIMOX%SOI%总剂量辐射效应%Pseudo-MOS晶体管
SIMOX%SOI%總劑量輻射效應%Pseudo-MOS晶體管
SIMOX%SOI%총제량복사효응%Pseudo-MOS정체관
本文用辐射加固和未加固的SIMOX(注氧隔离)SOI(绝缘体上硅)材料制作了Pseudo-MOS晶体管和nMOS晶体管,并进行了X射线总剂量辐射实验.结果表明加固工艺能有效提高SIMOX SOI材料的抗总剂量辐射能力,同时也表明Pseudo-MOS晶体管能有效的替代nMOS晶体管对SOI材料的抗总剂量辐射能力进行评估.
本文用輻射加固和未加固的SIMOX(註氧隔離)SOI(絕緣體上硅)材料製作瞭Pseudo-MOS晶體管和nMOS晶體管,併進行瞭X射線總劑量輻射實驗.結果錶明加固工藝能有效提高SIMOX SOI材料的抗總劑量輻射能力,同時也錶明Pseudo-MOS晶體管能有效的替代nMOS晶體管對SOI材料的抗總劑量輻射能力進行評估.
본문용복사가고화미가고적SIMOX(주양격리)SOI(절연체상규)재료제작료Pseudo-MOS정체관화nMOS정체관,병진행료X사선총제량복사실험.결과표명가고공예능유효제고SIMOX SOI재료적항총제량복사능력,동시야표명Pseudo-MOS정체관능유효적체대nMOS정체관대SOI재료적항총제량복사능력진행평고.
