传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2010年
8期
1102-1105
,共4页
柴旭朝%顾晓峰%戴欢%苏小波%于宗光
柴旭朝%顧曉峰%戴歡%囌小波%于宗光
시욱조%고효봉%대환%소소파%우종광
微传感器%读出电路%斩波稳定技术%检测电容
微傳感器%讀齣電路%斬波穩定技術%檢測電容
미전감기%독출전로%참파은정기술%검측전용
结合斩波稳定技术,通过电容匹配和多级优化的方法分别对用于MEMS微传感器的微电容读出电路的噪声性能和功耗进行了优化.基于优化分析采用两级斩波稳定电路结构,在CSMC 0.5 μm CMOS工艺下,用Cadence Spectre进行了仿真验证.结果表明能精确检测出aF(10-18F)量级的微电容,输出电压变化量与电容变化量呈线性关系,并且输出失调电压仅为38.9 μV,等效输入噪声电压为17 nV/Hz1/2.在5 V电源电压下功耗仅为2.5 mW,输出延时为6.29 μs.
結閤斬波穩定技術,通過電容匹配和多級優化的方法分彆對用于MEMS微傳感器的微電容讀齣電路的譟聲性能和功耗進行瞭優化.基于優化分析採用兩級斬波穩定電路結構,在CSMC 0.5 μm CMOS工藝下,用Cadence Spectre進行瞭倣真驗證.結果錶明能精確檢測齣aF(10-18F)量級的微電容,輸齣電壓變化量與電容變化量呈線性關繫,併且輸齣失調電壓僅為38.9 μV,等效輸入譟聲電壓為17 nV/Hz1/2.在5 V電源電壓下功耗僅為2.5 mW,輸齣延時為6.29 μs.
결합참파은정기술,통과전용필배화다급우화적방법분별대용우MEMS미전감기적미전용독출전로적조성성능화공모진행료우화.기우우화분석채용량급참파은정전로결구,재CSMC 0.5 μm CMOS공예하,용Cadence Spectre진행료방진험증.결과표명능정학검측출aF(10-18F)량급적미전용,수출전압변화량여전용변화량정선성관계,병차수출실조전압부위38.9 μV,등효수입조성전압위17 nV/Hz1/2.재5 V전원전압하공모부위2.5 mW,수출연시위6.29 μs.
