新技术新工艺
新技術新工藝
신기술신공예
NEW TECHNOLOGY & NEW PROCESS
2010年
12期
73-77
,共5页
李振%邓乾发%郑晓锋%刘盾%王羽寅%袁巨龙
李振%鄧乾髮%鄭曉鋒%劉盾%王羽寅%袁巨龍
리진%산건발%정효봉%류순%왕우인%원거룡
化学机械抛光%抛光垫%材料
化學機械拋光%拋光墊%材料
화학궤계포광%포광점%재료
在化学机械抛光中,抛光垫的材料是重要影响因素之一,它直接影响着抛光效果.本文介绍了化学机械抛光垫的基本材料、材料特性及其对抛光效果的影响,目前化学机械抛光加工中所采用的抛光垫材料及主要用途,对各种抛光垫材料在抛光过程中存在问题进行了分析,同时展望了抛光垫材料的发展趋势.
在化學機械拋光中,拋光墊的材料是重要影響因素之一,它直接影響著拋光效果.本文介紹瞭化學機械拋光墊的基本材料、材料特性及其對拋光效果的影響,目前化學機械拋光加工中所採用的拋光墊材料及主要用途,對各種拋光墊材料在拋光過程中存在問題進行瞭分析,同時展望瞭拋光墊材料的髮展趨勢.
재화학궤계포광중,포광점적재료시중요영향인소지일,타직접영향착포광효과.본문개소료화학궤계포광점적기본재료、재료특성급기대포광효과적영향,목전화학궤계포광가공중소채용적포광점재료급주요용도,대각충포광점재료재포광과정중존재문제진행료분석,동시전망료포광점재료적발전추세.
