西北师范大学学报（自然科学版）
西北師範大學學報（自然科學版）
서북사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF NORTHWEST NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2011年
6期
20-24
,共5页
马书懿%马李刚%艾小倩%黄新丽
馬書懿%馬李剛%艾小倩%黃新麗
마서의%마리강%애소천%황신려
磁控溅射法%ZnO缓冲层%AZO薄膜%XRD%光致发光
磁控濺射法%ZnO緩遲層%AZO薄膜%XRD%光緻髮光
자공천사법%ZnO완충층%AZO박막%XRD%광치발광
采用射频磁控溅射法在不同厚度的ZnO缓冲层上制备了A1掺杂ZnO(AZO)薄膜.利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见分光光度计(UV-VIS)和荧光分光光度计(PL)等表征技术,研究了AZO薄膜的微观结构、表面形貌和发光特性.XRD分析结果表明,加入适当厚度的ZnO缓冲层后可有效地降低晶格失配争因热膨胀系数不同引起的晶格畸变.薄膜在可见光范围内的透射率随着缓冲层厚度的增加先增大后降低,平均透过率超过80％.通过时样品光致发光(PL)谱的研究发现ZnO缓冲层样品在室温下的光致发光峰有了明显增高.这说明利用低温缓冲层生长的AZO薄膜的结晶质量和光学性质都得到了明显改善.
採用射頻磁控濺射法在不同厚度的ZnO緩遲層上製備瞭A1摻雜ZnO(AZO)薄膜.利用X射線衍射(XRD)、掃描電子顯微鏡(SEM)、紫外-可見分光光度計(UV-VIS)和熒光分光光度計(PL)等錶徵技術,研究瞭AZO薄膜的微觀結構、錶麵形貌和髮光特性.XRD分析結果錶明,加入適噹厚度的ZnO緩遲層後可有效地降低晶格失配爭因熱膨脹繫數不同引起的晶格畸變.薄膜在可見光範圍內的透射率隨著緩遲層厚度的增加先增大後降低,平均透過率超過80％.通過時樣品光緻髮光(PL)譜的研究髮現ZnO緩遲層樣品在室溫下的光緻髮光峰有瞭明顯增高.這說明利用低溫緩遲層生長的AZO薄膜的結晶質量和光學性質都得到瞭明顯改善.
채용사빈자공천사법재불동후도적ZnO완충층상제비료A1참잡ZnO(AZO)박막.이용X사선연사(XRD)、소묘전자현미경(SEM)、자외-가견분광광도계(UV-VIS)화형광분광광도계(PL)등표정기술,연구료AZO박막적미관결구、표면형모화발광특성.XRD분석결과표명,가입괄당후도적ZnO완충층후가유효지강저정격실배쟁인열팽창계수불동인기적정격기변.박막재가견광범위내적투사솔수착완충층후도적증가선증대후강저,평균투과솔초과80％.통과시양품광치발광(PL)보적연구발현ZnO완충층양품재실온하적광치발광봉유료명현증고.저설명이용저온완충층생장적AZO박막적결정질량화광학성질도득도료명현개선.
