物理学报
物理學報
물이학보
2004年
6期
1994-1999
,共6页
牟宗信%李国卿%车德良%黄开玉%柳翠
牟宗信%李國卿%車德良%黃開玉%柳翠
모종신%리국경%차덕량%황개옥%류취
等离子体%金属薄膜/非磁性%磁控溅射
等離子體%金屬薄膜/非磁性%磁控濺射
등리자체%금속박막/비자성%자공천사
非平衡磁控溅射沉积系统的伏安特性对阴极溅射和薄膜沉积过程具有重要的影响.通过分析在常规磁控溅射沉积系统中非平衡磁场对于放电过程的影响,根据蔡尔得定律研究了非平衡磁场对磁控溅射沉积系统伏安特性影响的基本规律;根据模型和实验数据的对比证明模型正确表达了非平衡磁控溅射沉积系统中非平衡磁场对伏安特性影响的规律.
非平衡磁控濺射沉積繫統的伏安特性對陰極濺射和薄膜沉積過程具有重要的影響.通過分析在常規磁控濺射沉積繫統中非平衡磁場對于放電過程的影響,根據蔡爾得定律研究瞭非平衡磁場對磁控濺射沉積繫統伏安特性影響的基本規律;根據模型和實驗數據的對比證明模型正確錶達瞭非平衡磁控濺射沉積繫統中非平衡磁場對伏安特性影響的規律.
비평형자공천사침적계통적복안특성대음겁천사화박막침적과정구유중요적영향.통과분석재상규자공천사침적계통중비평형자장대우방전과정적영향,근거채이득정률연구료비평형자장대자공천사침적계통복안특성영향적기본규률;근거모형화실험수거적대비증명모형정학표체료비평형자공천사침적계통중비평형자장대복안특성영향적규률.
