N离子注入非晶碳膜的CN成键研究
N리자주입비정탄막적CN성건연구
Formation of CN Bonds in the Amorphous Carbon Film by N-Implantation
  • 万方数据
    吉林大学学报（理学版） 길림대학학보（이학판）
    JOURNAL OF JILIN UNIVERSITY(SCIENCE EDITION)
    2005年 3期 324-327 ,共4页

    林景波%李俊杰%李哲奎%顾广瑞%盖同祥%金哲%胡超权%吕宪义%金曾孙

    림경파%리준걸%리철규%고엄서%개동상%금철%호초권%려헌의%금증손

    N离子注入%非晶碳膜%磁控溅射%键合结构 N離子註入%非晶碳膜%磁控濺射%鍵閤結構
    N리자주입%비정탄막%자공천사%건합결구
    利用Raman和XPS研究N离子注入前后非晶碳膜化学键合的变化及CN成键情况.结果表明,被注入到非晶碳膜内的N与C原子结合,形成sp3 C--N,sp2 C--N 和C≡N键.随着N离子注入剂量的增加,膜内sp3 C--N键的含量相对增多,表明N离子注入更有利于sp3 C--N键的形成.
    이용Raman화XPS연구N리자주입전후비정탄막화학건합적변화급CN성건정황.결과표명,피주입도비정탄막내적N여C원자결합,형성sp3 C--N,sp2 C--N 화C≡N건.수착N리자주입제량적증가,막내sp3 C--N건적함량상대증다,표명N리자주입경유리우sp3 C--N건적형성.
    원문보기 원문다운로드 사이트로이동
저자의 최근 논문