高等学校化学学报
高等學校化學學報
고등학교화학학보
CHEMICAL JOURNAL OF CHINESE UNIVERSITIES
2006年
8期
1540-1544
,共5页
蒋利民%黄选民%田中群%田昭武
蔣利民%黃選民%田中群%田昭武
장이민%황선민%전중군%전소무
约束刻蚀剂层技术%微机电系统%铝%微加工%电化学
約束刻蝕劑層技術%微機電繫統%鋁%微加工%電化學
약속각식제층기술%미궤전계통%려%미가공%전화학
采用约束刻蚀剂层技术,以亚硝酸钠为先驱物,通过电化学氧化产生刻蚀剂(硝酸)刻蚀铝,并以NaOH为捕捉剂,在电极模板上形成约束刻蚀剂层.在金属铝表面加工出梯型槽微结构,加工分辨率约为500 nm.通过测量表面氢离子浓度,对捕捉剂的约束效果进行了分析.
採用約束刻蝕劑層技術,以亞硝痠鈉為先驅物,通過電化學氧化產生刻蝕劑(硝痠)刻蝕鋁,併以NaOH為捕捉劑,在電極模闆上形成約束刻蝕劑層.在金屬鋁錶麵加工齣梯型槽微結構,加工分辨率約為500 nm.通過測量錶麵氫離子濃度,對捕捉劑的約束效果進行瞭分析.
채용약속각식제층기술,이아초산납위선구물,통과전화학양화산생각식제(초산)각식려,병이NaOH위포착제,재전겁모판상형성약속각식제층.재금속려표면가공출제형조미결구,가공분변솔약위500 nm.통과측량표면경리자농도,대포착제적약속효과진행료분석.
