微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2006年
6期
1-5,27
,共6页
李冠男%黄成军%罗磊%郭旻%于中尧%于军
李冠男%黃成軍%囉磊%郭旻%于中堯%于軍
리관남%황성군%라뢰%곽민%우중요%우군
微电铸工艺%微影微电铸微模铸%微机电系统%选择性射流电铸
微電鑄工藝%微影微電鑄微模鑄%微機電繫統%選擇性射流電鑄
미전주공예%미영미전주미모주%미궤전계통%선택성사류전주
随着微机电系统(MEMS)和微影微电铸微模铸(LIGA)两种技术的发展,微电铸工艺正逐渐展现着其独特的魅力和发展潜力.然而,现有工艺中存在的缺陷也严重阻碍了其进一步发展.因此,对微电铸工艺进行深入研究,突破其工艺瓶颈,将对微加工工艺的应用和推广起着重要作用.着眼于目前微电铸工艺中存在的不足,从工艺缺陷的理论形成机理出发,总结了近期微电铸领域在工艺缺陷的改进方面所做出的努力及成果,并对微电铸工艺未来的发展趋势提出了一些看法.
隨著微機電繫統(MEMS)和微影微電鑄微模鑄(LIGA)兩種技術的髮展,微電鑄工藝正逐漸展現著其獨特的魅力和髮展潛力.然而,現有工藝中存在的缺陷也嚴重阻礙瞭其進一步髮展.因此,對微電鑄工藝進行深入研究,突破其工藝瓶頸,將對微加工工藝的應用和推廣起著重要作用.著眼于目前微電鑄工藝中存在的不足,從工藝缺陷的理論形成機理齣髮,總結瞭近期微電鑄領域在工藝缺陷的改進方麵所做齣的努力及成果,併對微電鑄工藝未來的髮展趨勢提齣瞭一些看法.
수착미궤전계통(MEMS)화미영미전주미모주(LIGA)량충기술적발전,미전주공예정축점전현착기독특적매력화발전잠력.연이,현유공예중존재적결함야엄중조애료기진일보발전.인차,대미전주공예진행심입연구,돌파기공예병경,장대미가공공예적응용화추엄기착중요작용.착안우목전미전주공예중존재적불족,종공예결함적이론형성궤리출발,총결료근기미전주영역재공예결함적개진방면소주출적노력급성과,병대미전주공예미래적발전추세제출료일사간법.
