物理学报
物理學報
물이학보
2006年
6期
3132-3135
,共4页
赵跃智%陈长乐%高国棉%杨晓光%袁孝%宋宙模
趙躍智%陳長樂%高國棉%楊曉光%袁孝%宋宙模
조약지%진장악%고국면%양효광%원효%송주모
PLD%ZnO薄膜%Mn掺杂%吸收谱
PLD%ZnO薄膜%Mn摻雜%吸收譜
PLD%ZnO박막%Mn참잡%흡수보
通过脉冲激光沉积(PLD)法在SiO2基片上制备了不同含量的Mn掺杂ZnO薄膜.X射线衍射、X射线能谱、原子力显微镜与紫外-可见分光光度计测试结果表明:少量的Mn离子的掺杂并没有改变薄膜的结构,薄膜具有(103)面的择优取向;PLD法制备的ZnO薄膜的成分与靶材基本一致,实现了薄膜的同组分沉积;薄膜表面比较平坦,起伏度小于80nm,颗粒尺寸主要集中在25nm附近;但是Mn离子的掺杂改变了ZnO薄膜的禁带宽度,随Mn掺杂含量的增加,ZnO薄膜的禁带宽度增加;当薄膜中Mn含量从6%增加到12%时,薄膜对紫外强吸收区的光吸收能力也随之增加.
通過脈遲激光沉積(PLD)法在SiO2基片上製備瞭不同含量的Mn摻雜ZnO薄膜.X射線衍射、X射線能譜、原子力顯微鏡與紫外-可見分光光度計測試結果錶明:少量的Mn離子的摻雜併沒有改變薄膜的結構,薄膜具有(103)麵的擇優取嚮;PLD法製備的ZnO薄膜的成分與靶材基本一緻,實現瞭薄膜的同組分沉積;薄膜錶麵比較平坦,起伏度小于80nm,顆粒呎吋主要集中在25nm附近;但是Mn離子的摻雜改變瞭ZnO薄膜的禁帶寬度,隨Mn摻雜含量的增加,ZnO薄膜的禁帶寬度增加;噹薄膜中Mn含量從6%增加到12%時,薄膜對紫外彊吸收區的光吸收能力也隨之增加.
통과맥충격광침적(PLD)법재SiO2기편상제비료불동함량적Mn참잡ZnO박막.X사선연사、X사선능보、원자력현미경여자외-가견분광광도계측시결과표명:소량적Mn리자적참잡병몰유개변박막적결구,박막구유(103)면적택우취향;PLD법제비적ZnO박막적성분여파재기본일치,실현료박막적동조분침적;박막표면비교평탄,기복도소우80nm,과립척촌주요집중재25nm부근;단시Mn리자적참잡개변료ZnO박막적금대관도,수Mn참잡함량적증가,ZnO박막적금대관도증가;당박막중Mn함량종6%증가도12%시,박막대자외강흡수구적광흡수능력야수지증가.
