微计算机信息
微計算機信息
미계산궤신식
CONTROL & AUTOMATION
2006年
34期
253-255,97
,共4页
龙海强%郭文谦%徐键%田兴志
龍海彊%郭文謙%徐鍵%田興誌
룡해강%곽문겸%서건%전흥지
COG邦定机%ANSYS%热应变%有限元
COG邦定機%ANSYS%熱應變%有限元
COG방정궤%ANSYS%열응변%유한원
COG邦定机是液晶模块生产中的关键设备,是集光学、计算机控制、图像识别处理、精密机械等多学科技术于一体的高精度、高可靠性微电子专用设备.邦定机压头是拾取芯片进入CCD物方视场进行图像识别采样并最终完成压接的重要部件之一.由于CCD相机物方视场较小,压头工作中因加热引起的热变形影响CCD图像识别,往往使得加热后IC的图像识别模糊不清.本文利用ANSYS软件成熟的热应力分析功能分析并获得了压头热变形理论值,结合实际测量验证了有限元分析结果,以理论分析结果进行压头调节获得了较理想的IC标识CCD图像识别效果.
COG邦定機是液晶模塊生產中的關鍵設備,是集光學、計算機控製、圖像識彆處理、精密機械等多學科技術于一體的高精度、高可靠性微電子專用設備.邦定機壓頭是拾取芯片進入CCD物方視場進行圖像識彆採樣併最終完成壓接的重要部件之一.由于CCD相機物方視場較小,壓頭工作中因加熱引起的熱變形影響CCD圖像識彆,往往使得加熱後IC的圖像識彆模糊不清.本文利用ANSYS軟件成熟的熱應力分析功能分析併穫得瞭壓頭熱變形理論值,結閤實際測量驗證瞭有限元分析結果,以理論分析結果進行壓頭調節穫得瞭較理想的IC標識CCD圖像識彆效果.
COG방정궤시액정모괴생산중적관건설비,시집광학、계산궤공제、도상식별처리、정밀궤계등다학과기술우일체적고정도、고가고성미전자전용설비.방정궤압두시습취심편진입CCD물방시장진행도상식별채양병최종완성압접적중요부건지일.유우CCD상궤물방시장교소,압두공작중인가열인기적열변형영향CCD도상식별,왕왕사득가열후IC적도상식별모호불청.본문이용ANSYS연건성숙적열응력분석공능분석병획득료압두열변형이론치,결합실제측량험증료유한원분석결과,이이론분석결과진행압두조절획득료교이상적IC표식CCD도상식별효과.
