光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2008年
7期
1241-1246
,共6页
曾毅波%蒋书森%黄彩虹%张玉龙%张艳
曾毅波%蔣書森%黃綵虹%張玉龍%張豔
증의파%장서삼%황채홍%장옥룡%장염
激光共焦扫描显微镜%微机电系统%角度测量%形貌分析%图形拼接
激光共焦掃描顯微鏡%微機電繫統%角度測量%形貌分析%圖形拼接
격광공초소묘현미경%미궤전계통%각도측량%형모분석%도형병접
研究了激光共焦扫描显微镜(LSCM)在微结构分析中的应用,综述了该项应用的优势.LSCM的高分辨率和光强调节功能,使其可用于大角度测量;与图像处理系统相结合,便于微结构的定性和定量分析;而全自动样片台沿X轴和Y轴的自动扫描实现了图像的拼接功能.实验结果表明:运用LSCM测量的斜面最大角度至少可以达到50°;在悬臂梁的形貌分析中,可获得清晰的三维形貌,同时通过二维定量分析精确测得其形变为3.145 μm;在100×物镜下,运用拼接功能获得384 μm×288 μm的视场面积,解决了高放大倍数下,在单帧显微图像中无法获取所观测对象全貌的问题.LSCM在微结构分析中的应用弥补了其它形貌分析设备测量功能上的不足,提升了微机电系统的测试水平.
研究瞭激光共焦掃描顯微鏡(LSCM)在微結構分析中的應用,綜述瞭該項應用的優勢.LSCM的高分辨率和光彊調節功能,使其可用于大角度測量;與圖像處理繫統相結閤,便于微結構的定性和定量分析;而全自動樣片檯沿X軸和Y軸的自動掃描實現瞭圖像的拼接功能.實驗結果錶明:運用LSCM測量的斜麵最大角度至少可以達到50°;在懸臂樑的形貌分析中,可穫得清晰的三維形貌,同時通過二維定量分析精確測得其形變為3.145 μm;在100×物鏡下,運用拼接功能穫得384 μm×288 μm的視場麵積,解決瞭高放大倍數下,在單幀顯微圖像中無法穫取所觀測對象全貌的問題.LSCM在微結構分析中的應用瀰補瞭其它形貌分析設備測量功能上的不足,提升瞭微機電繫統的測試水平.
연구료격광공초소묘현미경(LSCM)재미결구분석중적응용,종술료해항응용적우세.LSCM적고분변솔화광강조절공능,사기가용우대각도측량;여도상처리계통상결합,편우미결구적정성화정량분석;이전자동양편태연X축화Y축적자동소묘실현료도상적병접공능.실험결과표명:운용LSCM측량적사면최대각도지소가이체도50°;재현비량적형모분석중,가획득청석적삼유형모,동시통과이유정량분석정학측득기형변위3.145 μm;재100×물경하,운용병접공능획득384 μm×288 μm적시장면적,해결료고방대배수하,재단정현미도상중무법획취소관측대상전모적문제.LSCM재미결구분석중적응용미보료기타형모분석설비측량공능상적불족,제승료미궤전계통적측시수평.
