压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2010年
5期
807-810
,共4页
陶帅%白鸿柏%何建设%侯军芳
陶帥%白鴻柏%何建設%侯軍芳
도수%백홍백%하건설%후군방
微隔振平台%压电作动器%预压%迟滞%蠕变
微隔振平檯%壓電作動器%預壓%遲滯%蠕變
미격진평태%압전작동기%예압%지체%연변
通过对一种用于微隔振平台的压电作动器进行实验研究,得出了位移迟滞非线性输出曲线,综合整理并分析了压电作动器输出位移曲线特点,从微观上系统分析了作动器位移输出特性的机理.结果表明,蠕变导致作动器驱动电压回零时,作动器输出存在残留位移;迟滞大小不仅与预压力有关,还与加压次数和加压频率等有关;作动器位移输出曲线具有一定的漂移特性,对作动器的精确建模造成一定困难.为进一步修正和减少建模误差的影响、提高系统的控制精度,提供了科学的依据.
通過對一種用于微隔振平檯的壓電作動器進行實驗研究,得齣瞭位移遲滯非線性輸齣麯線,綜閤整理併分析瞭壓電作動器輸齣位移麯線特點,從微觀上繫統分析瞭作動器位移輸齣特性的機理.結果錶明,蠕變導緻作動器驅動電壓迴零時,作動器輸齣存在殘留位移;遲滯大小不僅與預壓力有關,還與加壓次數和加壓頻率等有關;作動器位移輸齣麯線具有一定的漂移特性,對作動器的精確建模造成一定睏難.為進一步脩正和減少建模誤差的影響、提高繫統的控製精度,提供瞭科學的依據.
통과대일충용우미격진평태적압전작동기진행실험연구,득출료위이지체비선성수출곡선,종합정리병분석료압전작동기수출위이곡선특점,종미관상계통분석료작동기위이수출특성적궤리.결과표명,연변도치작동기구동전압회령시,작동기수출존재잔류위이;지체대소불부여예압력유관,환여가압차수화가압빈솔등유관;작동기위이수출곡선구유일정적표이특성,대작동기적정학건모조성일정곤난.위진일보수정화감소건모오차적영향、제고계통적공제정도,제공료과학적의거.
