计量学报
計量學報
계량학보
ACTA METROLOGICA SINICA
2010年
5期
430-435
,共6页
干蜀毅%周卿%徐向东%洪义麟%刘颍%付绍军
榦蜀毅%週卿%徐嚮東%洪義麟%劉潁%付紹軍
간촉의%주경%서향동%홍의린%류영%부소군
计量学%表面粗糙度%分形%多重分形谱%自相似
計量學%錶麵粗糙度%分形%多重分形譜%自相似
계량학%표면조조도%분형%다중분형보%자상사
将分形法引入光学表面粗糙度评价体系中,以克服常用表面粗糙度评价参数(如Ra、Rq、PSD)随取样点位置、取样长度而变化的弊端.用原子力显微镜(AFM)对样片表面进行测量,计算测量值的配分函数和多重分形谱.计算结果表明:不同样品在同样取样范围内多重分形谱显著不同,同一样品在不同取样范围内配分函数曲线有区别,但多重分形谱却非常相似.对分形计算结果与表面粗糙状态之间的内在联系进行了分析,提出用多重分形谱宽把分形计算结果量化,以客观、唯一地表示被测表面粗糙状态.
將分形法引入光學錶麵粗糙度評價體繫中,以剋服常用錶麵粗糙度評價參數(如Ra、Rq、PSD)隨取樣點位置、取樣長度而變化的弊耑.用原子力顯微鏡(AFM)對樣片錶麵進行測量,計算測量值的配分函數和多重分形譜.計算結果錶明:不同樣品在同樣取樣範圍內多重分形譜顯著不同,同一樣品在不同取樣範圍內配分函數麯線有區彆,但多重分形譜卻非常相似.對分形計算結果與錶麵粗糙狀態之間的內在聯繫進行瞭分析,提齣用多重分形譜寬把分形計算結果量化,以客觀、唯一地錶示被測錶麵粗糙狀態.
장분형법인입광학표면조조도평개체계중,이극복상용표면조조도평개삼수(여Ra、Rq、PSD)수취양점위치、취양장도이변화적폐단.용원자력현미경(AFM)대양편표면진행측량,계산측량치적배분함수화다중분형보.계산결과표명:불동양품재동양취양범위내다중분형보현저불동,동일양품재불동취양범위내배분함수곡선유구별,단다중분형보각비상상사.대분형계산결과여표면조조상태지간적내재련계진행료분석,제출용다중분형보관파분형계산결과양화,이객관、유일지표시피측표면조조상태.
