电子学报
電子學報
전자학보
ACTA ELECTRONICA SINICA
2012年
8期
1665-1669
,共5页
成品率%可靠性%缺陷%粒径分布
成品率%可靠性%缺陷%粒徑分佈
성품솔%가고성%결함%립경분포
在集成电路可制造性设计研究中,成品率与可靠性之间的关系模型备受人们关注.缺陷对成品率和可靠性的影响不仅与出现在芯片上的缺陷粒径大小有关而且与缺陷出现在芯片上的位置有关.本文主要考虑了出现在互连线上的金属丢失物缺陷对互连线的影响,分析了同一粒径的缺陷出现在互连线不同位置对互连线有效宽度的影响,给出了基于缺陷均匀分布的互连线平均有效宽度,结合已有成品率和可靠性估计模型,提出了基于缺陷位置信息的集成电路制造成品率与可靠性之间的关系模型.在工艺线稳定的情况下,利用该工艺线的制造成品率可以通过该关系式有效地估计出产品的可靠性,从而有效地缩短新产品的研发周期.
在集成電路可製造性設計研究中,成品率與可靠性之間的關繫模型備受人們關註.缺陷對成品率和可靠性的影響不僅與齣現在芯片上的缺陷粒徑大小有關而且與缺陷齣現在芯片上的位置有關.本文主要攷慮瞭齣現在互連線上的金屬丟失物缺陷對互連線的影響,分析瞭同一粒徑的缺陷齣現在互連線不同位置對互連線有效寬度的影響,給齣瞭基于缺陷均勻分佈的互連線平均有效寬度,結閤已有成品率和可靠性估計模型,提齣瞭基于缺陷位置信息的集成電路製造成品率與可靠性之間的關繫模型.在工藝線穩定的情況下,利用該工藝線的製造成品率可以通過該關繫式有效地估計齣產品的可靠性,從而有效地縮短新產品的研髮週期.
재집성전로가제조성설계연구중,성품솔여가고성지간적관계모형비수인문관주.결함대성품솔화가고성적영향불부여출현재심편상적결함립경대소유관이차여결함출현재심편상적위치유관.본문주요고필료출현재호련선상적금속주실물결함대호련선적영향,분석료동일립경적결함출현재호련선불동위치대호련선유효관도적영향,급출료기우결함균균분포적호련선평균유효관도,결합이유성품솔화가고성고계모형,제출료기우결함위치신식적집성전로제조성품솔여가고성지간적관계모형.재공예선은정적정황하,이용해공예선적제조성품솔가이통과해관계식유효지고계출산품적가고성,종이유효지축단신산품적연발주기.
