海洋技术
海洋技術
해양기술
OCEAN TECHNOLOGY
2000年
3期
71-73
,共3页
电阻率%补偿%功率器件
電阻率%補償%功率器件
전조솔%보상%공솔기건
用于制造功率器件的中子辐照区熔硅片,在经过1250℃、40h高温扩硼后,硅片体内电阻率下滑.本文通过实验表明了高温退火后硅片的冷却速率及硅片的厚度对电阻率的影响非常明显.并且介绍了将高温退火电阻率下降的硅片通过低温退火工艺对其进行电阻率补偿的方法.
用于製造功率器件的中子輻照區鎔硅片,在經過1250℃、40h高溫擴硼後,硅片體內電阻率下滑.本文通過實驗錶明瞭高溫退火後硅片的冷卻速率及硅片的厚度對電阻率的影響非常明顯.併且介紹瞭將高溫退火電阻率下降的硅片通過低溫退火工藝對其進行電阻率補償的方法.
용우제조공솔기건적중자복조구용규편,재경과1250℃、40h고온확붕후,규편체내전조솔하활.본문통과실험표명료고온퇴화후규편적냉각속솔급규편적후도대전조솔적영향비상명현.병차개소료장고온퇴화전조솔하강적규편통과저온퇴화공예대기진행전조솔보상적방법.
