传感器技术
傳感器技術
전감기기술
JOURNAL OF TRANSDUCER TECHNOLOGY
2003年
8期
5-8
,共4页
许媛媛%何金田%李新建%陈渝仁
許媛媛%何金田%李新建%陳渝仁
허원원%하금전%리신건%진투인
多孔硅%湿度传感器%湿敏元件
多孔硅%濕度傳感器%濕敏元件
다공규%습도전감기%습민원건
综述了湿度传感器的研究现状.分析了多孔硅湿度传感器的感湿机理,介绍了几种多孔硅湿度传感器的制作工艺及结构,并讨论了它们的优缺点.最后,对多孔硅湿度传感器的应用前景作了展望.
綜述瞭濕度傳感器的研究現狀.分析瞭多孔硅濕度傳感器的感濕機理,介紹瞭幾種多孔硅濕度傳感器的製作工藝及結構,併討論瞭它們的優缺點.最後,對多孔硅濕度傳感器的應用前景作瞭展望.
종술료습도전감기적연구현상.분석료다공규습도전감기적감습궤리,개소료궤충다공규습도전감기적제작공예급결구,병토론료타문적우결점.최후,대다공규습도전감기적응용전경작료전망.
