微机电系统的研究与分析
미궤전계통적연구여분석
Research and Analogy of MEMS
  • 万方数据
    传感技术学报 전감기술학보
    Journal of Transduction Technology
    2004年 1期 168-171 ,共4页

    沈桂芬%张宏庆%韩宇%范军%付世%丁德宏%姚朋军

    침계분%장굉경%한우%범군%부세%정덕굉%요붕군

    MEMS%传感器%微机电系统加工工艺 MEMS%傳感器%微機電繫統加工工藝
    MEMS%전감기%미궤전계통가공공예
    详细介绍了微机械电子系统的内涵.内容包括微型传感器、微型执行器等研究领域.还介绍了微机械电子系统加工工艺,阐明了其涉及的科学技术问题,对信息MEMS用途及发展趋势做了较详尽的讨论.
    상세개소료미궤계전자계통적내함.내용포괄미형전감기、미형집행기등연구영역.환개소료미궤계전자계통가공공예,천명료기섭급적과학기술문제,대신식MEMS용도급발전추세주료교상진적토론.
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