稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2005年
2期
256-258
,共3页
王强%李玉国%石礼伟%薛成山
王彊%李玉國%石禮偉%薛成山
왕강%리옥국%석례위%설성산
碳注入%氢退火%电化学腐蚀%纳米硅镶嵌结构
碳註入%氫退火%電化學腐蝕%納米硅鑲嵌結構
탄주입%경퇴화%전화학부식%납미규양감결구
外延硅经过碳注入、氢气氛下高温退火和电化学腐蚀相继处理之后,发出位于431 nm左右的蓝色荧光峰.随电化学腐蚀条件的增强,蓝色荧光峰先变强后消失,并出现位于716 nm处的红光峰.样品中随碳注入而注入的杂质C=O复合体镶嵌在退火过程所形成的纳米硅颗粒的表面,形成典型的纳米硅镶嵌结构.正是这种结构导致了蓝光发射.
外延硅經過碳註入、氫氣氛下高溫退火和電化學腐蝕相繼處理之後,髮齣位于431 nm左右的藍色熒光峰.隨電化學腐蝕條件的增彊,藍色熒光峰先變彊後消失,併齣現位于716 nm處的紅光峰.樣品中隨碳註入而註入的雜質C=O複閤體鑲嵌在退火過程所形成的納米硅顆粒的錶麵,形成典型的納米硅鑲嵌結構.正是這種結構導緻瞭藍光髮射.
외연규경과탄주입、경기분하고온퇴화화전화학부식상계처리지후,발출위우431 nm좌우적람색형광봉.수전화학부식조건적증강,람색형광봉선변강후소실,병출현위우716 nm처적홍광봉.양품중수탄주입이주입적잡질C=O복합체양감재퇴화과정소형성적납미규과립적표면,형성전형적납미규양감결구.정시저충결구도치료람광발사.
