传感器技术
傳感器技術
전감기기술
JOURNAL OF TRANSDUCER TECHNOLOGY
2005年
7期
27-28,31
,共3页
薄膜合金电阻%压力传感器%热处理%稳定性
薄膜閤金電阻%壓力傳感器%熱處理%穩定性
박막합금전조%압력전감기%열처리%은정성
利用离子束溅射镀膜技术,在17-4PH不锈钢弹性衬底上直接溅射SiO2绝缘膜和NiCr薄膜,制备了一种新型的压力传感器用合金薄膜.分析了热处理工艺对合金薄膜电阻稳定性的影响,对NiCr薄膜电阻进行了4种热处理工艺,获得了使合金薄膜电阻长期稳定的热处理工艺参数:在SiOx和N2的保护下,673K退火1h,并在473K下保温24h.用该工艺能制备适应各种恶劣环境的高精度压力传感器.
利用離子束濺射鍍膜技術,在17-4PH不鏽鋼彈性襯底上直接濺射SiO2絕緣膜和NiCr薄膜,製備瞭一種新型的壓力傳感器用閤金薄膜.分析瞭熱處理工藝對閤金薄膜電阻穩定性的影響,對NiCr薄膜電阻進行瞭4種熱處理工藝,穫得瞭使閤金薄膜電阻長期穩定的熱處理工藝參數:在SiOx和N2的保護下,673K退火1h,併在473K下保溫24h.用該工藝能製備適應各種噁劣環境的高精度壓力傳感器.
이용리자속천사도막기술,재17-4PH불수강탄성츤저상직접천사SiO2절연막화NiCr박막,제비료일충신형적압력전감기용합금박막.분석료열처리공예대합금박막전조은정성적영향,대NiCr박막전조진행료4충열처리공예,획득료사합금박막전조장기은정적열처리공예삼수:재SiOx화N2적보호하,673K퇴화1h,병재473K하보온24h.용해공예능제비괄응각충악렬배경적고정도압력전감기.
