微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2007年
4期
43-46
,共4页
扩散%化学气相沉积%准直碳纳米管
擴散%化學氣相沉積%準直碳納米管
확산%화학기상침적%준직탄납미관
用CH4,NH3 和H2 为反应气体,利用等离子体增强热丝化学气相沉积在沉积有Ta缓冲层和Ni催化剂层的Si衬底上制备了准直碳纳米管,并用扫描电子显微镜和透射电子显微镜对它们进行了研究.结果发现,尽管碳纳米管在相同的生长条件下生长在同样的衬底上,其直径和长度仍不同, 表明它们是非均匀生长.应用有关热力学理论研究了碳纳米管生长的非均匀性,结果表明,碳纳米管的非均匀生长是由催化剂颗粒的大小不同所致.
用CH4,NH3 和H2 為反應氣體,利用等離子體增彊熱絲化學氣相沉積在沉積有Ta緩遲層和Ni催化劑層的Si襯底上製備瞭準直碳納米管,併用掃描電子顯微鏡和透射電子顯微鏡對它們進行瞭研究.結果髮現,儘管碳納米管在相同的生長條件下生長在同樣的襯底上,其直徑和長度仍不同, 錶明它們是非均勻生長.應用有關熱力學理論研究瞭碳納米管生長的非均勻性,結果錶明,碳納米管的非均勻生長是由催化劑顆粒的大小不同所緻.
용CH4,NH3 화H2 위반응기체,이용등리자체증강열사화학기상침적재침적유Ta완충층화Ni최화제층적Si츤저상제비료준직탄납미관,병용소묘전자현미경화투사전자현미경대타문진행료연구.결과발현,진관탄납미관재상동적생장조건하생장재동양적츤저상,기직경화장도잉불동, 표명타문시비균균생장.응용유관열역학이론연구료탄납미관생장적비균균성,결과표명,탄납미관적비균균생장시유최화제과립적대소불동소치.
