分析测试技术与仪器
分析測試技術與儀器
분석측시기술여의기
ANALYSIS AND TESTING TECHNOLOGY AND INSTRUMENTS
2009年
3期
158-161
,共4页
AlGaN%缓冲层/模版层%三轴晶高分辨X射线衍射(TAxRD)
AlGaN%緩遲層/模版層%三軸晶高分辨X射線衍射(TAxRD)
AlGaN%완충층/모판층%삼축정고분변X사선연사(TAxRD)
为了获得高质量的高Al组分AlGaN外延材料,一般是在蓝宝石基片与外延层之间引入缓冲层或模板层(GaN、AlN或两者的交替周期超晶格)来提高AlGaN的外延质量,不同的缓冲层及结构对AlGaN的外延质量产生不同的影响.利用三轴晶高分辨X射线衍射(TAxRD)表征手段对2种生长结构下的AlGaN进行表征分析.
為瞭穫得高質量的高Al組分AlGaN外延材料,一般是在藍寶石基片與外延層之間引入緩遲層或模闆層(GaN、AlN或兩者的交替週期超晶格)來提高AlGaN的外延質量,不同的緩遲層及結構對AlGaN的外延質量產生不同的影響.利用三軸晶高分辨X射線衍射(TAxRD)錶徵手段對2種生長結構下的AlGaN進行錶徵分析.
위료획득고질량적고Al조분AlGaN외연재료,일반시재람보석기편여외연층지간인입완충층혹모판층(GaN、AlN혹량자적교체주기초정격)래제고AlGaN적외연질량,불동적완충층급결구대AlGaN적외연질양산생불동적영향.이용삼축정고분변X사선연사(TAxRD)표정수단대2충생장결구하적AlGaN진행표정분석.
