有色金属
有色金屬
유색금속
NONFERROUS METALS
2009年
4期
26-29
,共4页
金属材料%Ti1-xAlxN涂层%多弧离子镀%组织结构%涂层成分
金屬材料%Ti1-xAlxN塗層%多弧離子鍍%組織結構%塗層成分
금속재료%Ti1-xAlxN도층%다호리자도%조직결구%도층성분
通过不同Al含量的真空感应熔炼Ti1-x-Alx合金靶,采用多弧离子镀技术制备了Ti1-xAlxN涂层.用SEM,EDS等手段研究Al元素对涂层微观形貌和涂层成分的影响.结果表明,TiAlN涂层连续、光滑、孔隙率低、组织致密.随着Al含量的增加,涂层沉积效率降低、涂层硬度增加、涂层膜/基结合力先降低后升高.靶材成分还在一定程度上影响涂层的熔滴密度以及成分偏离程度.
通過不同Al含量的真空感應鎔煉Ti1-x-Alx閤金靶,採用多弧離子鍍技術製備瞭Ti1-xAlxN塗層.用SEM,EDS等手段研究Al元素對塗層微觀形貌和塗層成分的影響.結果錶明,TiAlN塗層連續、光滑、孔隙率低、組織緻密.隨著Al含量的增加,塗層沉積效率降低、塗層硬度增加、塗層膜/基結閤力先降低後升高.靶材成分還在一定程度上影響塗層的鎔滴密度以及成分偏離程度.
통과불동Al함량적진공감응용련Ti1-x-Alx합금파,채용다호리자도기술제비료Ti1-xAlxN도층.용SEM,EDS등수단연구Al원소대도층미관형모화도층성분적영향.결과표명,TiAlN도층련속、광활、공극솔저、조직치밀.수착Al함량적증가,도층침적효솔강저、도층경도증가、도층막/기결합력선강저후승고.파재성분환재일정정도상영향도층적용적밀도이급성분편리정도.
