光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2010年
7期
1605-1612
,共8页
注射成型%微流控芯片%微沟槽%图像处理%无损检测
註射成型%微流控芯片%微溝槽%圖像處理%無損檢測
주사성형%미류공심편%미구조%도상처리%무손검측
针对注射成型的微流控芯片具有微沟槽深度成型质量好,宽度成型质量较差,而且各处微沟槽的宽度成型质量不均衡的特点,利用Matlab软件的图像处理工具箱开发了微流控芯片微沟槽显微平面图片的图像处理系统,实现了利用常用的光学显微镜对微沟槽的成型质量进行无损检测.引入人工干涉来进行高效图像去噪处理.根据提取的微结构轮廓点进行了微沟槽轮廓的曲线拟合,测量了微沟槽的开口宽度和底部宽度.对由微流控芯片微沟槽显微平面图片所得到的测量结果与由对微流控芯片进行切片检测所得到的测量结果进行比较,结果显示,两种方法得到的微沟槽开口宽度相差约4%,槽底部宽度相差约3%,说明微沟槽显微平面图片的测量结果能够满足注射成型工艺研究中微流控芯片微结构成型质量检测的要求.
針對註射成型的微流控芯片具有微溝槽深度成型質量好,寬度成型質量較差,而且各處微溝槽的寬度成型質量不均衡的特點,利用Matlab軟件的圖像處理工具箱開髮瞭微流控芯片微溝槽顯微平麵圖片的圖像處理繫統,實現瞭利用常用的光學顯微鏡對微溝槽的成型質量進行無損檢測.引入人工榦涉來進行高效圖像去譟處理.根據提取的微結構輪廓點進行瞭微溝槽輪廓的麯線擬閤,測量瞭微溝槽的開口寬度和底部寬度.對由微流控芯片微溝槽顯微平麵圖片所得到的測量結果與由對微流控芯片進行切片檢測所得到的測量結果進行比較,結果顯示,兩種方法得到的微溝槽開口寬度相差約4%,槽底部寬度相差約3%,說明微溝槽顯微平麵圖片的測量結果能夠滿足註射成型工藝研究中微流控芯片微結構成型質量檢測的要求.
침대주사성형적미류공심편구유미구조심도성형질량호,관도성형질량교차,이차각처미구조적관도성형질량불균형적특점,이용Matlab연건적도상처리공구상개발료미류공심편미구조현미평면도편적도상처리계통,실현료이용상용적광학현미경대미구조적성형질량진행무손검측.인입인공간섭래진행고효도상거조처리.근거제취적미결구륜곽점진행료미구조륜곽적곡선의합,측량료미구조적개구관도화저부관도.대유미류공심편미구조현미평면도편소득도적측량결과여유대미류공심편진행절편검측소득도적측량결과진행비교,결과현시,량충방법득도적미구조개구관도상차약4%,조저부관도상차약3%,설명미구조현미평면도편적측량결과능구만족주사성형공예연구중미류공심편미결구성형질량검측적요구.
