激光杂志
激光雜誌
격광잡지
LASER JOURNAL
2010年
2期
41-43
,共3页
唐普洪%宋仁国%柴国钟%熊京远
唐普洪%宋仁國%柴國鐘%熊京遠
당보홍%송인국%시국종%웅경원
脉冲激光烧蚀%多层膜%微观结构%TiN/AlN
脈遲激光燒蝕%多層膜%微觀結構%TiN/AlN
맥충격광소식%다층막%미관결구%TiN/AlN
本文采用脉冲激光沉积(PLD)法,在单晶硅试样表面上沉积制备了TiN/AlN多层硬质薄膜;研究了激光能量、靶衬距离和基体温度等工艺参数对薄膜性能的影响.采用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和显微硬度仪方法研究了薄膜的性能.结果表明:薄膜由TiN和立方AlN细晶和无定型的非晶TiN、AlN组成,薄膜的调制周期尺寸均在λ=(50-200)nm范围内,多层结构界面清晰;当多层薄膜调制周期在100nm以下时,薄膜的显微硬度明显高于TiN和AlN的混合硬度值.
本文採用脈遲激光沉積(PLD)法,在單晶硅試樣錶麵上沉積製備瞭TiN/AlN多層硬質薄膜;研究瞭激光能量、靶襯距離和基體溫度等工藝參數對薄膜性能的影響.採用X射線衍射(XRD)、掃描電子顯微鏡(SEM)和顯微硬度儀方法研究瞭薄膜的性能.結果錶明:薄膜由TiN和立方AlN細晶和無定型的非晶TiN、AlN組成,薄膜的調製週期呎吋均在λ=(50-200)nm範圍內,多層結構界麵清晰;噹多層薄膜調製週期在100nm以下時,薄膜的顯微硬度明顯高于TiN和AlN的混閤硬度值.
본문채용맥충격광침적(PLD)법,재단정규시양표면상침적제비료TiN/AlN다층경질박막;연구료격광능량、파츤거리화기체온도등공예삼수대박막성능적영향.채용X사선연사(XRD)、소묘전자현미경(SEM)화현미경도의방법연구료박막적성능.결과표명:박막유TiN화립방AlN세정화무정형적비정TiN、AlN조성,박막적조제주기척촌균재λ=(50-200)nm범위내,다층결구계면청석;당다층박막조제주기재100nm이하시,박막적현미경도명현고우TiN화AlN적혼합경도치.
