人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2011年
1期
33-37
,共5页
陈剑辉%刘保亭%魏大勇%王宽冒%崔永亮%王英龙%赵庆勋%韦梦袆
陳劍輝%劉保亭%魏大勇%王寬冒%崔永亮%王英龍%趙慶勛%韋夢袆
진검휘%류보정%위대용%왕관모%최영량%왕영룡%조경훈%위몽위
BiFe0.95Mn0.05O3%Ni-Al%阻挡层%漏电机制
BiFe0.95Mn0.05O3%Ni-Al%阻擋層%漏電機製
BiFe0.95Mn0.05O3%Ni-Al%조당층%루전궤제
以Ni-Al为阻挡层,在Si衬底上构架了SrRuO3(SRO)/BiFe0.95Mn<0.05O3(BFMO)/SRO异质结电容器.x射线衍射(XRD)分析表明:Ni-Al阻挡层为非晶结构,BFMO薄膜为具有良好结晶质量的多晶结构.在5 kHz测试频率下,SRO/BFMO/SRO电容器呈现饱和的电滞回线.实验发现,SRO/BFMO/SRO铁电电容器具有良好的抗疲劳性能.漏电机制研究表明,外加电场小于210 kV/cm时,SRO/BFMO/SRO电容器满足欧姆导电机制,在电场大于210kV/cm时,满足空间电荷限流传导机制.
以Ni-Al為阻擋層,在Si襯底上構架瞭SrRuO3(SRO)/BiFe0.95Mn<0.05O3(BFMO)/SRO異質結電容器.x射線衍射(XRD)分析錶明:Ni-Al阻擋層為非晶結構,BFMO薄膜為具有良好結晶質量的多晶結構.在5 kHz測試頻率下,SRO/BFMO/SRO電容器呈現飽和的電滯迴線.實驗髮現,SRO/BFMO/SRO鐵電電容器具有良好的抗疲勞性能.漏電機製研究錶明,外加電場小于210 kV/cm時,SRO/BFMO/SRO電容器滿足歐姆導電機製,在電場大于210kV/cm時,滿足空間電荷限流傳導機製.
이Ni-Al위조당층,재Si츤저상구가료SrRuO3(SRO)/BiFe0.95Mn<0.05O3(BFMO)/SRO이질결전용기.x사선연사(XRD)분석표명:Ni-Al조당층위비정결구,BFMO박막위구유량호결정질량적다정결구.재5 kHz측시빈솔하,SRO/BFMO/SRO전용기정현포화적전체회선.실험발현,SRO/BFMO/SRO철전전용기구유량호적항피로성능.루전궤제연구표명,외가전장소우210 kV/cm시,SRO/BFMO/SRO전용기만족구모도전궤제,재전장대우210kV/cm시,만족공간전하한류전도궤제.
