CAJ | 학술논문

针对金属微注塑模具UV-LIGA制作过程中由于SU-8胶内应力过大而引起的胶膜破裂、变形甚至脱落等问题,提出将超声时效技术应用于微注塑模具的制作工艺.首先,利用紫外光刻工艺制备了电铸胶膜,在显影前使用自制的超声时效装置对胶膜进行超声处理.然后,采用无背板生长方法在38CrNiMnMo模具钢基底上直接进行镍金属的电铸生长,讨论并解决了工艺过程中遇到的SU-8胶浮胶变形、非圆形基片的匀胶、胶膜中的气泡以及微电铸层结合不牢等问题.最后,制作出微通道宽度和高度分别为80 μm和35 μm的微注塑模具.实验结果表明,超声时效技术的使用避免了由于SU-8胶内应力过大引起的破裂、变形甚至从基底脱落等缺陷,增强了UV-LIGA技术制作微注塑模具的能力,提高了制作微注塑模具的成功率.
침대금속미주소모구UV-LIGA제작과정중유우SU-8효내응력과대이인기적효막파렬、변형심지탈락등문제,제출장초성시효기술응용우미주소모구적제작공예.수선,이용자외광각공예제비료전주효막,재현영전사용자제적초성시효장치대효막진행초성처리.연후,채용무배판생장방법재38CrNiMnMo모구강기저상직접진행얼금속적전주생장,토론병해결료공예과정중우도적SU-8효부효변형、비원형기편적균효、효막중적기포이급미전주층결합불뢰등문제.최후,제작출미통도관도화고도분별위80 μm화35 μm적미주소모구.실험결과표명,초성시효기술적사용피면료유우SU-8효내응력과대인기적파렬、변형심지종기저탈락등결함,증강료UV-LIGA기술제작미주소모구적능력,제고료제작미주소모구적성공솔.