强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
1999年
4期
428-432
,共5页
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湯學峰%顧牡%週斌%杜保旂%祁金林%賴珍荃%陳玲燕
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Ag衰减膜%聚苯乙烯衰减膜%真空a能谱测厚仪%俄歇电子能谱(AES)
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对类Ni稀土X光激光波段衰减膜进行了设计,并根据设计结果,利用磁控溅射和旋转涂覆法分别制备了自支撑的Ag衰减膜和聚苯乙烯(C8H8)衰减膜.利用真空α能谱测厚仪和a-step100台阶仪分别对衰减膜的质量厚度和均匀性进行了测量,用Auger电子能谱(AES)对Ag衰减膜进行了表面杂质分析.
對類Ni稀土X光激光波段衰減膜進行瞭設計,併根據設計結果,利用磁控濺射和鏇轉塗覆法分彆製備瞭自支撐的Ag衰減膜和聚苯乙烯(C8H8)衰減膜.利用真空α能譜測厚儀和a-step100檯階儀分彆對衰減膜的質量厚度和均勻性進行瞭測量,用Auger電子能譜(AES)對Ag衰減膜進行瞭錶麵雜質分析.
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