真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2004年
6期
451-454
,共4页
尤大伟%黄小刚%任荆学%李安杰
尤大偉%黃小剛%任荊學%李安傑
우대위%황소강%임형학%리안걸
射频%离子源%感应耦合等离子体
射頻%離子源%感應耦閤等離子體
사빈%리자원%감응우합등리자체
采用射频宽束离子源进行离子束辅助镀膜可以获得高性能的光学薄膜,已越来越得到人们的共识.本文对射频感应线圈的匹配、起弧及三栅离子光学的关键技术进行了重点考虑，并获得了稳定运行的高性能离子源.
採用射頻寬束離子源進行離子束輔助鍍膜可以穫得高性能的光學薄膜,已越來越得到人們的共識.本文對射頻感應線圈的匹配、起弧及三柵離子光學的關鍵技術進行瞭重點攷慮，併穫得瞭穩定運行的高性能離子源.
채용사빈관속리자원진행리자속보조도막가이획득고성능적광학박막,이월래월득도인문적공식.본문대사빈감응선권적필배、기호급삼책리자광학적관건기술진행료중점고필，병획득료은정운행적고성능리자원.
