传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2005年
1期
43-46
,共4页
刘延辉%曾大文%王辉虎%谢长生
劉延輝%曾大文%王輝虎%謝長生
류연휘%증대문%왕휘호%사장생
纳米ZnO%纳米Zn%气敏传感器
納米ZnO%納米Zn%氣敏傳感器
납미ZnO%납미Zn%기민전감기
以激光-感应复合加热法制备的纳米Zn为气敏基料,以蒸馏水为粘结剂,用空气电阻炉在600℃氧化烧结2 h,在Al2O3陶瓷管上制备了旁热式厚膜气敏元件.然后进行了XRD检测和SEM电镜观察,以静态配汽法作气敏性能的测试.结果表明:ZnO形成了由纳米棒、纳米薄片组成的带空隙的厚膜,其颗粒形貌和膜结构能够承受气敏性能测试的温度冲击而保持稳定,对VOCs具有较好的气体敏感性.
以激光-感應複閤加熱法製備的納米Zn為氣敏基料,以蒸餾水為粘結劑,用空氣電阻爐在600℃氧化燒結2 h,在Al2O3陶瓷管上製備瞭徬熱式厚膜氣敏元件.然後進行瞭XRD檢測和SEM電鏡觀察,以靜態配汽法作氣敏性能的測試.結果錶明:ZnO形成瞭由納米棒、納米薄片組成的帶空隙的厚膜,其顆粒形貌和膜結構能夠承受氣敏性能測試的溫度遲擊而保持穩定,對VOCs具有較好的氣體敏感性.
이격광-감응복합가열법제비적납미Zn위기민기료,이증류수위점결제,용공기전조로재600℃양화소결2 h,재Al2O3도자관상제비료방열식후막기민원건.연후진행료XRD검측화SEM전경관찰,이정태배기법작기민성능적측시.결과표명:ZnO형성료유납미봉、납미박편조성적대공극적후막,기과립형모화막결구능구승수기민성능측시적온도충격이보지은정,대VOCs구유교호적기체민감성.
