应用于流动控制的MEMS传感器和执行器
응용우류동공제적MEMS전감기화집행기
MEMS Sensor and Actuator for Flow Control
  • 万方数据
    电子工业专用设备 전자공업전용설비
    EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
    2006年 1期 25-27,62 ,共4页

    欧毅%白宏磊%石莎莉%焦斌斌%李超波%黄钦文%董立军%景玉鹏%陈大鹏%叶甜春%申功

    구의%백굉뢰%석사리%초빈빈%리초파%황흠문%동립군%경옥붕%진대붕%협첨춘%신공

    微电子机械系统(MEMS)%剪切应力传感器%射流执行器%流体 微電子機械繫統(MEMS)%剪切應力傳感器%射流執行器%流體
    미전자궤계계통(MEMS)%전절응력전감기%사류집행기%류체
    出现于20世纪80年代后期的微机械技术可以制作出微米尺度的传感器和执行器.这些微器件与信号调节和处理电路集成后,组成了可执行分布式实时控制的微电子机械系统(MEMS).这种性能为流动控制研究开辟了一个崭新的研究领域.利用MEMS技术设计和制作了一种传感器和一种执行器.实验证明,采用体硅腐蚀的工艺制作微流体器件是可行的,同时可以避免牺牲层腐蚀和释放的复杂工艺.
    출현우20세기80년대후기적미궤계기술가이제작출미미척도적전감기화집행기.저사미기건여신호조절화처리전로집성후,조성료가집행분포식실시공제적미전자궤계계통(MEMS).저충성능위류동공제연구개벽료일개참신적연구영역.이용MEMS기술설계화제작료일충전감기화일충집행기.실험증명,채용체규부식적공예제작미류체기건시가행적,동시가이피면희생층부식화석방적복잡공예.
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