光学与光电技术
光學與光電技術
광학여광전기술
OPTICS & OPTOELECTRONIC TECHNOLOGY
2006年
5期
74-76,84
,共4页
张锡芳%王政平%王晓忠%张艳娥%王丽会
張錫芳%王政平%王曉忠%張豔娥%王麗會
장석방%왕정평%왕효충%장염아%왕려회
粗糙度%精细表面%琼斯矩阵%干涉%He-Ne激光器
粗糙度%精細錶麵%瓊斯矩陣%榦涉%He-Ne激光器
조조도%정세표면%경사구진%간섭%He-Ne격광기
提出了一种利用光的干涉原理测量光滑物体表面粗糙度的方法.该方法采用两光束共光路、同心聚焦扫描可实现表面粗糙度的绝对测量.使用一个半波片改变一路光束的偏振态,避免了传统测量系统中光路具有可逆性的问题,保证了系统的稳定性.使用一个l/4波片使接收端的光束偏振态方向一致,使干涉信号可见度最大.该系统光路结构简单,容易实现.对一标准量块进行了测量,并对光功率计分辨率对测量结果的影响进行了分析,结果表明本系统在实验室现有条件下可以测量轮廓算术平均偏差Ra为0.012μm的粗糙度量块.
提齣瞭一種利用光的榦涉原理測量光滑物體錶麵粗糙度的方法.該方法採用兩光束共光路、同心聚焦掃描可實現錶麵粗糙度的絕對測量.使用一箇半波片改變一路光束的偏振態,避免瞭傳統測量繫統中光路具有可逆性的問題,保證瞭繫統的穩定性.使用一箇l/4波片使接收耑的光束偏振態方嚮一緻,使榦涉信號可見度最大.該繫統光路結構簡單,容易實現.對一標準量塊進行瞭測量,併對光功率計分辨率對測量結果的影響進行瞭分析,結果錶明本繫統在實驗室現有條件下可以測量輪廓算術平均偏差Ra為0.012μm的粗糙度量塊.
제출료일충이용광적간섭원리측량광활물체표면조조도적방법.해방법채용량광속공광로、동심취초소묘가실현표면조조도적절대측량.사용일개반파편개변일로광속적편진태,피면료전통측량계통중광로구유가역성적문제,보증료계통적은정성.사용일개l/4파편사접수단적광속편진태방향일치,사간섭신호가견도최대.해계통광로결구간단,용역실현.대일표준량괴진행료측량,병대광공솔계분변솔대측량결과적영향진행료분석,결과표명본계통재실험실현유조건하가이측량륜곽산술평균편차Ra위0.012μm적조조도량괴.
