AlGaN/GaN型气敏传感器对于C0的响应研究
AlGaN/GaN형기민전감기대우C0적향응연구
A Carbon Monoxide Gas Sensor Based on an AlGaN/GaN Structure
  • 万方数据
    半导体学报 반도체학보
    CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
    2008年 7期 1387-1390 ,共4页

    冯春%王晓亮%王新华%肖红领%王翠梅%胡国新%冉军学%王军喜

    풍춘%왕효량%왕신화%초홍령%왕취매%호국신%염군학%왕군희

    AlGaN/GaN%C0%传感器 AlGaN/GaN%C0%傳感器
    AlGaN/GaN%C0%전감기
    研究了基于AlGaN/GaN型结构的气敏传感器对于C0的传感性.制备出AlGaN/GaN型气敏传感器器件,并测试得到了器件在50℃时对于不同浓度(1%,9000,8000,5000和1000ppm)的C0的响应情况;测试并分析了1%CO在50和100℃下响应度的差异,计算了通人1%CO前后器件的肖特基势垒高度的变化和灵敏度随电压的分布关系.结果表明,器件的灵敏度强烈依赖于器件的工作温度和通入的气体浓度,随着温度和浓度的增加,器件的灵敏度呈单调增加,器件在100℃空气气氛中表现出了良好恢复性能.
    연구료기우AlGaN/GaN형결구적기민전감기대우C0적전감성.제비출AlGaN/GaN형기민전감기기건,병측시득도료기건재50℃시대우불동농도(1%,9000,8000,5000화1000ppm)적C0적향응정황;측시병분석료1%CO재50화100℃하향응도적차이,계산료통인1%CO전후기건적초특기세루고도적변화화령민도수전압적분포관계.결과표명,기건적령민도강렬의뢰우기건적공작온도화통입적기체농도,수착온도화농도적증가,기건적령민도정단조증가,기건재100℃공기기분중표현출료량호회복성능.
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