光学读出红外成像及其FPA性能分析
광학독출홍외성상급기FPA성능분석
Performance analysis of FPA for optical doutl3tical readout uncooled inftrared imaging
  • 万方数据
    红外与激光工程 홍외여격광공정
    INFRARED AND LASER ENGINEERING
    2007年 z1期 101-104 ,共4页

    高杰%焦斌斌%陈大鹏%董凤良%张青川%缪正宇%熊志铭%伍小平

    고걸%초빈빈%진대붕%동봉량%장청천%무정우%웅지명%오소평

    非制冷红外成像%双材料微悬臂梁%光学读出%焦平面阵列 非製冷紅外成像%雙材料微懸臂樑%光學讀齣%焦平麵陣列
    비제랭홍외성상%쌍재료미현비량%광학독출%초평면진렬
    针对已提出的光学读出非制冷红外成像系统,设计研制了一种单元尺寸分别是50 μm×50μm和60 μm×60 μm的新型双材料微悬臂梁红外焦平面阵列(FPA),进行了人体红外热成像实验,并对光学读出非制冷红外成像系统的温度-灰度响应曲线及噪声进行了测定.实验结果表明该微梁结构FPA构成的红外成像系统的噪声等效温度差(NETD)约100 mK.和课题组之前的研究结果(微梁单元尺寸120μm×120μm,NETD约300 mK)相比,红外图像的温度分辨率和空间分辨率都得到了明显改善.
    침대이제출적광학독출비제랭홍외성상계통,설계연제료일충단원척촌분별시50 μm×50μm화60 μm×60 μm적신형쌍재료미현비량홍외초평면진렬(FPA),진행료인체홍외열성상실험,병대광학독출비제랭홍외성상계통적온도-회도향응곡선급조성진행료측정.실험결과표명해미량결구FPA구성적홍외성상계통적조성등효온도차(NETD)약100 mK.화과제조지전적연구결과(미량단원척촌120μm×120μm,NETD약300 mK)상비,홍외도상적온도분변솔화공간분변솔도득도료명현개선.
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