华南师范大学学报（自然科学版）
華南師範大學學報（自然科學版）
화남사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SOUTH CHINA NORMAL UNIVERSITY （NATURAL SCIENCE EDITION）
2008年
3期
60-65
,共6页
史磊%陈俊芳%符斯列%杨春林%黄孟祥%赖秀琼%张洪滨
史磊%陳俊芳%符斯列%楊春林%黃孟祥%賴秀瓊%張洪濱
사뢰%진준방%부사렬%양춘림%황맹상%뢰수경%장홍빈
等离子体源%FPGA%朗谬尔探针%自动诊断
等離子體源%FPGA%朗謬爾探針%自動診斷
등리자체원%FPGA%랑류이탐침%자동진단
该文提出了一种基于FPGA的等离子体朗谬尔探针自动检测系统的总体设计方案及其硬件实现方法.该系统的外围接口电路采用微伏放大模块和隔离放大模块,提高了信号采集的精度,并有效克服了各种干扰.信号的采集与处理通过Verilog HDL语言描述,并在Cyclone系列可编程逻辑器件FPGA上实现,提高了等离子体静电探针参数诊断的效率.得到了放电气压0.25 Pa、射频13.56MHz、功率200W条件下石英管内的空气等离子体密度和电子温度.
該文提齣瞭一種基于FPGA的等離子體朗謬爾探針自動檢測繫統的總體設計方案及其硬件實現方法.該繫統的外圍接口電路採用微伏放大模塊和隔離放大模塊,提高瞭信號採集的精度,併有效剋服瞭各種榦擾.信號的採集與處理通過Verilog HDL語言描述,併在Cyclone繫列可編程邏輯器件FPGA上實現,提高瞭等離子體靜電探針參數診斷的效率.得到瞭放電氣壓0.25 Pa、射頻13.56MHz、功率200W條件下石英管內的空氣等離子體密度和電子溫度.
해문제출료일충기우FPGA적등리자체랑류이탐침자동검측계통적총체설계방안급기경건실현방법.해계통적외위접구전로채용미복방대모괴화격리방대모괴,제고료신호채집적정도,병유효극복료각충간우.신호적채집여처리통과Verilog HDL어언묘술,병재Cyclone계렬가편정라집기건FPGA상실현,제고료등리자체정전탐침삼수진단적효솔.득도료방전기압0.25 Pa、사빈13.56MHz、공솔200W조건하석영관내적공기등리자체밀도화전자온도.
