中国表面工程
中國錶麵工程
중국표면공정
CHINA SURFACE ENGINEERING
2008年
5期
38-42
,共5页
赵栋才%任妮%马占吉%邱家稳%肖更竭%武生虎
趙棟纔%任妮%馬佔吉%邱傢穩%肖更竭%武生虎
조동재%임니%마점길%구가은%초경갈%무생호
类金刚石膜%掺铜%应力%硬度
類金剛石膜%摻銅%應力%硬度
류금강석막%참동%응력%경도
利用纯铜靶作脉冲阴极,并改变碳阴极的数量或在铜靶前设置栅网调节DLC膜中铜含量,制备了不同铜含量的几组样品.研究发现,随着铜含量的增加,薄膜的硬度和应力下降;但当铜原子百分比含量大于6.3%时,薄膜的硬度和应力基本保持不变.摩擦因数随着铜含量的增加,一直缓慢增加,并且磨损量也慢慢增加.
利用純銅靶作脈遲陰極,併改變碳陰極的數量或在銅靶前設置柵網調節DLC膜中銅含量,製備瞭不同銅含量的幾組樣品.研究髮現,隨著銅含量的增加,薄膜的硬度和應力下降;但噹銅原子百分比含量大于6.3%時,薄膜的硬度和應力基本保持不變.摩抆因數隨著銅含量的增加,一直緩慢增加,併且磨損量也慢慢增加.
이용순동파작맥충음겁,병개변탄음겁적수량혹재동파전설치책망조절DLC막중동함량,제비료불동동함량적궤조양품.연구발현,수착동함량적증가,박막적경도화응력하강;단당동원자백분비함량대우6.3%시,박막적경도화응력기본보지불변.마찰인수수착동함량적증가,일직완만증가,병차마손량야만만증가.
