电子器件
電子器件
전자기건
JOURNAL OF ELECTRON DEVICES
2008年
6期
1753-1756
,共4页
微机械陀螺仪%温度特性
微機械陀螺儀%溫度特性
미궤계타라의%온도특성
硅陀螺仪是近年来发展起来的一种新型角速度传感器,温度变化是其主要误差源之一.分析了温度变化对硅微陀螺仪的谐振频率和品质因数的影响,并选择常温下机械品质因数不同的两个陀螺在-40℃～80℃温度范围内进行测试,得出机械品质因数和谐振频率随温度变化规律.实验结果验证了陀螺仪谐振频率随温度升高而线形下降;温度变化时,封装陀螺仪抽真空度对陀螺机械品质因数产生明显影响.
硅陀螺儀是近年來髮展起來的一種新型角速度傳感器,溫度變化是其主要誤差源之一.分析瞭溫度變化對硅微陀螺儀的諧振頻率和品質因數的影響,併選擇常溫下機械品質因數不同的兩箇陀螺在-40℃～80℃溫度範圍內進行測試,得齣機械品質因數和諧振頻率隨溫度變化規律.實驗結果驗證瞭陀螺儀諧振頻率隨溫度升高而線形下降;溫度變化時,封裝陀螺儀抽真空度對陀螺機械品質因數產生明顯影響.
규타라의시근년래발전기래적일충신형각속도전감기,온도변화시기주요오차원지일.분석료온도변화대규미타라의적해진빈솔화품질인수적영향,병선택상온하궤계품질인수불동적량개타라재-40℃～80℃온도범위내진행측시,득출궤계품질인수화해진빈솔수온도변화규률.실험결과험증료타라의해진빈솔수온도승고이선형하강;온도변화시,봉장타라의추진공도대타라궤계품질인수산생명현영향.
