科技信息
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과기신식
SCIENTIFIC & TECHNICAL INFORMATION
2011年
15期
68-69,185
,共3页
SiC%微管道%伯格斯矢量%腐蚀
SiC%微管道%伯格斯矢量%腐蝕
SiC%미관도%백격사시량%부식
本文着重研究了SiC晶体微管道测量的两种方法,即KOH腐蚀法和不腐蚀测试法,并对方法及其测量结果进行比较分析,实现对SiC单晶微管道缺陷这一表征SiC单晶质量的重要参数的快速准确的测量.
本文著重研究瞭SiC晶體微管道測量的兩種方法,即KOH腐蝕法和不腐蝕測試法,併對方法及其測量結果進行比較分析,實現對SiC單晶微管道缺陷這一錶徵SiC單晶質量的重要參數的快速準確的測量.
본문착중연구료SiC정체미관도측량적량충방법,즉KOH부식법화불부식측시법,병대방법급기측량결과진행비교분석,실현대SiC단정미관도결함저일표정SiC단정질량적중요삼수적쾌속준학적측량.
