微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2011年
8期
511-515
,共5页
三维(3D)%交流电渗流%微流体泵%双电层%非对称电极组
三維(3D)%交流電滲流%微流體泵%雙電層%非對稱電極組
삼유(3D)%교류전삼류%미류체빙%쌍전층%비대칭전겁조
在交流电渗流(ACEO)泵的研究中,一般忽略电极厚度的影响；而三维交流电渗流泵通过将电极厚度设计成台阶形式后,可以大大提高电渗流泵的流量.数值研究了电极台阶高度对三维交流电渗流泵流量的影响.研究发现:在驱动电压幅值不变的条件下,随着台阶高度的增加,三维交流电渗流泵流量也会增大；而当台阶高度增加到一定程度后,流量又会随着台阶高度的增加而减小.因此,在三维交流电渗流泵的设计制造中,需要优化电极的台阶高度,选择合适的台阶高度可以极大地提高电渗流泵的流量.通过和传统交流电渗流泵的比较,还研究了三维交流电渗流泵对流量的增强效果.结果表明:在相同模型尺寸参数下,优化台阶高度后的三维交流电渗流泵能极大提高流量.
在交流電滲流(ACEO)泵的研究中,一般忽略電極厚度的影響；而三維交流電滲流泵通過將電極厚度設計成檯階形式後,可以大大提高電滲流泵的流量.數值研究瞭電極檯階高度對三維交流電滲流泵流量的影響.研究髮現:在驅動電壓幅值不變的條件下,隨著檯階高度的增加,三維交流電滲流泵流量也會增大；而噹檯階高度增加到一定程度後,流量又會隨著檯階高度的增加而減小.因此,在三維交流電滲流泵的設計製造中,需要優化電極的檯階高度,選擇閤適的檯階高度可以極大地提高電滲流泵的流量.通過和傳統交流電滲流泵的比較,還研究瞭三維交流電滲流泵對流量的增彊效果.結果錶明:在相同模型呎吋參數下,優化檯階高度後的三維交流電滲流泵能極大提高流量.
재교류전삼류(ACEO)빙적연구중,일반홀략전겁후도적영향；이삼유교류전삼류빙통과장전겁후도설계성태계형식후,가이대대제고전삼류빙적류량.수치연구료전겁태계고도대삼유교류전삼류빙류량적영향.연구발현:재구동전압폭치불변적조건하,수착태계고도적증가,삼유교류전삼류빙류량야회증대；이당태계고도증가도일정정도후,류량우회수착태계고도적증가이감소.인차,재삼유교류전삼류빙적설계제조중,수요우화전겁적태계고도,선택합괄적태계고도가이겁대지제고전삼류빙적류량.통과화전통교류전삼류빙적비교,환연구료삼유교류전삼류빙대류량적증강효과.결과표명:재상동모형척촌삼수하,우화태계고도후적삼유교류전삼류빙능겁대제고류량.
