电子元件与材料
電子元件與材料
전자원건여재료
ELECTRONIC COMPONENTS & MATERIALS
2011年
12期
27-29
,共3页
溶胶—凝胶法%ZAO薄膜%紫外—可见光谱%光致发光(PL)
溶膠—凝膠法%ZAO薄膜%紫外—可見光譜%光緻髮光(PL)
용효—응효법%ZAO박막%자외—가견광보%광치발광(PL)
采用溶胶—凝胶法在普通玻璃衬底上制备了ZAO(ZnO:A1)薄膜,利用XRD、SEM、紫外—可见光谱和光致发光光谱对所制备的AZO薄膜进行了表征,研究了ZAO薄膜的结构和光学性能.结果表明:ZAO薄膜的微晶晶相与ZnO一致,且具有c轴择优取向;ZAO薄膜在可见光区的透过率超过了88%,在350~575 nm范围内有强的发光带.随着Al掺杂量的增加,ZAO薄膜的禁带宽度变大,光吸收边出现蓝移,发射峰强度先变强后变弱;当摩尔比r(Al:Zn)为0.010时,ZAO薄膜的可见光透过率最高,达91%;发射峰强度达46.3.
採用溶膠—凝膠法在普通玻璃襯底上製備瞭ZAO(ZnO:A1)薄膜,利用XRD、SEM、紫外—可見光譜和光緻髮光光譜對所製備的AZO薄膜進行瞭錶徵,研究瞭ZAO薄膜的結構和光學性能.結果錶明:ZAO薄膜的微晶晶相與ZnO一緻,且具有c軸擇優取嚮;ZAO薄膜在可見光區的透過率超過瞭88%,在350~575 nm範圍內有彊的髮光帶.隨著Al摻雜量的增加,ZAO薄膜的禁帶寬度變大,光吸收邊齣現藍移,髮射峰彊度先變彊後變弱;噹摩爾比r(Al:Zn)為0.010時,ZAO薄膜的可見光透過率最高,達91%;髮射峰彊度達46.3.
채용용효—응효법재보통파리츤저상제비료ZAO(ZnO:A1)박막,이용XRD、SEM、자외—가견광보화광치발광광보대소제비적AZO박막진행료표정,연구료ZAO박막적결구화광학성능.결과표명:ZAO박막적미정정상여ZnO일치,차구유c축택우취향;ZAO박막재가견광구적투과솔초과료88%,재350~575 nm범위내유강적발광대.수착Al참잡량적증가,ZAO박막적금대관도변대,광흡수변출현람이,발사봉강도선변강후변약;당마이비r(Al:Zn)위0.010시,ZAO박막적가견광투과솔최고,체91%;발사봉강도체46.3.