功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2011年
6期
569-572
,共4页
唐艳艳%高守宝%尚杰%张辉
唐豔豔%高守寶%尚傑%張輝
당염염%고수보%상걸%장휘
衬底%Ba0.4Sr0.6TiO3铁电薄膜%脉冲激光沉积%外延生长%X射线衍射%原子力显微镜
襯底%Ba0.4Sr0.6TiO3鐵電薄膜%脈遲激光沉積%外延生長%X射線衍射%原子力顯微鏡
츤저%Ba0.4Sr0.6TiO3철전박막%맥충격광침적%외연생장%X사선연사%원자력현미경
利用脉冲激光沉积( PLD)技术,通过一系列实验成功地制备出了近外延生长的Ba0.4Sr0.6TiO3铁电薄膜.研究了衬底对Ba0.4Sr0.6TiO3铁电薄膜外延质量的影响.从摇摆曲线的半高宽(FWHM)及原子力显微镜(AFM)图谱中可以看出,在铝酸锶钽镧(LAST)衬底上生长的薄膜,外延质量明显比失配度更小的钛酸锶(STO)衬底上生长的要好,并不是传统认为的晶格失配度越小越好,分析其原因主要是因为小的失配不利于应力的释放造成的.
利用脈遲激光沉積( PLD)技術,通過一繫列實驗成功地製備齣瞭近外延生長的Ba0.4Sr0.6TiO3鐵電薄膜.研究瞭襯底對Ba0.4Sr0.6TiO3鐵電薄膜外延質量的影響.從搖襬麯線的半高寬(FWHM)及原子力顯微鏡(AFM)圖譜中可以看齣,在鋁痠鍶鐽鑭(LAST)襯底上生長的薄膜,外延質量明顯比失配度更小的鈦痠鍶(STO)襯底上生長的要好,併不是傳統認為的晶格失配度越小越好,分析其原因主要是因為小的失配不利于應力的釋放造成的.
이용맥충격광침적( PLD)기술,통과일계렬실험성공지제비출료근외연생장적Ba0.4Sr0.6TiO3철전박막.연구료츤저대Ba0.4Sr0.6TiO3철전박막외연질량적영향.종요파곡선적반고관(FWHM)급원자력현미경(AFM)도보중가이간출,재려산송단란(LAST)츤저상생장적박막,외연질량명현비실배도경소적태산송(STO)츤저상생장적요호,병불시전통인위적정격실배도월소월호,분석기원인주요시인위소적실배불리우응력적석방조성적.
