中北大学学报（自然科学版）
中北大學學報（自然科學版）
중북대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF NORTH UNIVERSITY OF CHINA(NATURAL SCIENCE EDITION)
2011年
6期
768-774
,共7页
李东升%张雯%禹静%林杰俊
李東升%張雯%禹靜%林傑俊
리동승%장문%우정%림걸준
气体静压导轨型式%微小振源%静压系统%气膜刚度%刚度分析
氣體靜壓導軌型式%微小振源%靜壓繫統%氣膜剛度%剛度分析
기체정압도궤형식%미소진원%정압계통%기막강도%강도분석
针对目前国内外超精密工程与技术中微小误差源的识别及其对结构设计的影响问题,重点分析了气体静压导轨这一核心部件.对4种常用的导轨型式,即正方形、三角形、梯形及,一形导轨的自身刚度、气膜刚度与工作时气流随机振动引起的微观误差逐一进行分析,提出在卧式使用且刚度不大的情况下,为保证加工及测量精度,应尽量采用n形导轨.研究可为相关工程人员的导轨设计提供了参考.
針對目前國內外超精密工程與技術中微小誤差源的識彆及其對結構設計的影響問題,重點分析瞭氣體靜壓導軌這一覈心部件.對4種常用的導軌型式,即正方形、三角形、梯形及,一形導軌的自身剛度、氣膜剛度與工作時氣流隨機振動引起的微觀誤差逐一進行分析,提齣在臥式使用且剛度不大的情況下,為保證加工及測量精度,應儘量採用n形導軌.研究可為相關工程人員的導軌設計提供瞭參攷.
침대목전국내외초정밀공정여기술중미소오차원적식별급기대결구설계적영향문제,중점분석료기체정압도궤저일핵심부건.대4충상용적도궤형식,즉정방형、삼각형、제형급,일형도궤적자신강도、기막강도여공작시기류수궤진동인기적미관오차축일진행분석,제출재와식사용차강도불대적정황하,위보증가공급측량정도,응진량채용n형도궤.연구가위상관공정인원적도궤설계제공료삼고.
