精密制造与自动化
精密製造與自動化
정밀제조여자동화
PRECISE MANAFACTURING & AUTOMATION
2012年
3期
9-12
,共4页
主动减振%隔振%光刻机%负刚度
主動減振%隔振%光刻機%負剛度
주동감진%격진%광각궤%부강도
通过对以光刻机为代表的纳米加工设备主动减振系统技术的介绍,阐述了主动减振系统技术在纳米加工设备上的应用及发展方向.随着纳米加工设备的精度不断逼近极限,设备内部残余振动的要求也迅速提高,这就推动了纳米加工设备减振构架和主动减振技术的不断发展.为此,纳米加工设备的减振系统经历了从被动到主动,从正刚度到负刚度,从一体到分体的技术发展过程.通过对下一代纳米加工设备的展望,以及对减振系统的技术延展性评估,指出分体式负刚度主动减振系统技术是未来以EUV光刻机为代表的纳米加工设备减振技术的发展方向.
通過對以光刻機為代錶的納米加工設備主動減振繫統技術的介紹,闡述瞭主動減振繫統技術在納米加工設備上的應用及髮展方嚮.隨著納米加工設備的精度不斷逼近極限,設備內部殘餘振動的要求也迅速提高,這就推動瞭納米加工設備減振構架和主動減振技術的不斷髮展.為此,納米加工設備的減振繫統經歷瞭從被動到主動,從正剛度到負剛度,從一體到分體的技術髮展過程.通過對下一代納米加工設備的展望,以及對減振繫統的技術延展性評估,指齣分體式負剛度主動減振繫統技術是未來以EUV光刻機為代錶的納米加工設備減振技術的髮展方嚮.
통과대이광각궤위대표적납미가공설비주동감진계통기술적개소,천술료주동감진계통기술재납미가공설비상적응용급발전방향.수착납미가공설비적정도불단핍근겁한,설비내부잔여진동적요구야신속제고,저취추동료납미가공설비감진구가화주동감진기술적불단발전.위차,납미가공설비적감진계통경력료종피동도주동,종정강도도부강도,종일체도분체적기술발전과정.통과대하일대납미가공설비적전망,이급대감진계통적기술연전성평고,지출분체식부강도주동감진계통기술시미래이EUV광각궤위대표적납미가공설비감진기술적발전방향.
