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SCIENCE & TECHNOLOGY INFORMATION
2011年
33期
2-2
,共1页
金刚石具有很强的抗辐射性．耐腐蚀性能，被誉为发展前途广阔的第三代半导体材料。本文将从纳束金刚石半导体薄膜的研究现状出发，并详细分析了使用纳束金刚石薄膜压力传感器，并通过实验的方式制作与完成整个传感器的模拟实验。
金剛石具有很彊的抗輻射性．耐腐蝕性能，被譽為髮展前途廣闊的第三代半導體材料。本文將從納束金剛石半導體薄膜的研究現狀齣髮，併詳細分析瞭使用納束金剛石薄膜壓力傳感器，併通過實驗的方式製作與完成整箇傳感器的模擬實驗。
금강석구유흔강적항복사성．내부식성능，피예위발전전도엄활적제삼대반도체재료。본문장종납속금강석반도체박막적연구현상출발，병상세분석료사용납속금강석박막압력전감기，병통과실험적방식제작여완성정개전감기적모의실험。
