天津理工大学学报
天津理工大學學報
천진리공대학학보
JOURNAL OF TIANJIN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY
2011年
4期
64-67
,共4页
宋振坤%陈希明%郭燕%孙连婕
宋振坤%陳希明%郭燕%孫連婕
송진곤%진희명%곽연%손련첩
氮化铝薄膜%择优取向%温度补偿%原子力显微镜
氮化鋁薄膜%擇優取嚮%溫度補償%原子力顯微鏡
담화려박막%택우취향%온도보상%원자력현미경
氮化铝(AIN)薄膜不同的择优取向直接影响其压电性和声波传递速度.本文通过改变衬底补偿温度对AIN薄膜的择优取向进行了研究.在正常实验溅射完成后继续通入氮气对衬底进行温度补偿.应用XRD和AFM对氮化铝薄膜的取向性和表面形貌进行表征分析,结果表明本实验制备出了较好的(002)面和(100)面取向的A1N薄膜,而且薄膜沉积均匀,比较致密.
氮化鋁(AIN)薄膜不同的擇優取嚮直接影響其壓電性和聲波傳遞速度.本文通過改變襯底補償溫度對AIN薄膜的擇優取嚮進行瞭研究.在正常實驗濺射完成後繼續通入氮氣對襯底進行溫度補償.應用XRD和AFM對氮化鋁薄膜的取嚮性和錶麵形貌進行錶徵分析,結果錶明本實驗製備齣瞭較好的(002)麵和(100)麵取嚮的A1N薄膜,而且薄膜沉積均勻,比較緻密.
담화려(AIN)박막불동적택우취향직접영향기압전성화성파전체속도.본문통과개변츤저보상온도대AIN박막적택우취향진행료연구.재정상실험천사완성후계속통입담기대츤저진행온도보상.응용XRD화AFM대담화려박막적취향성화표면형모진행표정분석,결과표명본실험제비출료교호적(002)면화(100)면취향적A1N박막,이차박막침적균균,비교치밀.
